INFICON公司有CDG電容膜片真空計(jì)、BPG400／BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)、HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)、BCG450 B-A型皮拉尼電容膜片真空計(jì)、PSG500／PSG512-S皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)、PCG550／554皮拉尼電容膜片真空計(jì)、PEG100潘寧真空計(jì)、MPG400／401反磁控皮拉尼真空計(jì)和VGC401／403真空計(jì)控制器。如何來選擇呢？以下我們做具體的說明：

一，皮拉尼真空計(jì)

1.  皮拉尼真空計(jì)原理

加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系

2.  衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)

1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）

2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）

3.  氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):

1，氣體類型

2，壓力大小

4.  皮拉尼真空計(jì)測量范圍與精度

測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓? x 10-4至 1000 mbar

精度（氮?dú)猓? 1x 10-3… 100毫巴  ± 15%

    5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴  ± 50% gbg

    100 ... 1000毫巴  ± 50%

5.  皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn)

燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以zui大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命

6.  皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào)

PSG050/051

PSG100-S  PSG101-S

PSG500/PSG500-S  PSG502

    皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400 PCG410 PCG550

1.  有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起

2.  兩種原理的規(guī)管全過程都工作

3.  100 mbar--1000 mbar 使用薄膜

4.  1 mbar--100mbar 兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用

5.  5x10-4mbar--1 mbar 采用皮拉尼信號(hào)

6.  輸出的真空度信號(hào)（電壓）連續(xù)，無跳躍

7.  皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)

各種高真空泵的前級(jí)壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)

 各種中低真空測量，如照明，冶金

真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG100

PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216

PCG400 PCG410（現(xiàn)在已升級(jí)為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500 基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉 尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用

PSG100 PSG101，與PSG500/P SG050 基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛

二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045D/100/160/200

1.  電容薄膜規(guī)工作原理

 壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系

    通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度

2.  電容薄膜規(guī)特點(diǎn)

以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成

在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量

快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率

的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性

由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性

對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定

快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入 準(zhǔn)備使用狀態(tài)

一鍵按鈕: 調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整

抗腐蝕超純陶瓷傳感器

 能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓 沖擊,無任何降低性能的跡象

暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥

對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感

傳感器屏蔽 （）延長真空計(jì)在污染的工藝過程中的使用壽命

3.  INFICON陶瓷技術(shù)

陶瓷技術(shù)的*性

1，   無 “記憶” 效應(yīng)

2，   陶瓷無疲勞問題

3，   的溫度補(bǔ)償

4，   的零點(diǎn)穩(wěn)定性

低使用成本

1，  非凡的使用壽命

2，  無需隔離閥

4.  Sky CDG025D測量范圍 大氣到100mtorr

5.  加熱型薄膜規(guī) CDG045D，CDG100D，CDG160D，CDG200D

6.  加熱型優(yōu)點(diǎn)

零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）

更高的精度

環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無影響

比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’

快速恢復(fù)時(shí)間 大氣壓 < 1 min within 5mV

任意安裝角度

抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響

7.  電容薄膜規(guī)的應(yīng)用

要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測量

用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX2 3CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1   2000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。

資料貯存和顯示器制造設(shè)備

工業(yè)真空設(shè)備

常用高精度真空測量

三，熱電離規(guī)

1.  熱電離規(guī)原理

Richardson 效應(yīng): 高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子

1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出

2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系

3.  熱電離型復(fù)合規(guī)

HPG400

BPG400/-SP/-SD/SR

BPG402

 BCG450  B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起

4.  優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用

 BPG

?  測量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000 mbar

?  精度高，*的重復(fù)性5%

?  燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。

?  方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)

?  注意事項(xiàng)：

?  1、對(duì)氣體有選擇性

?  2、抗污染能力弱

?  普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測量

?  在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛

BPG402

?  雙燈絲，大大延長使用壽命

?  電離規(guī)的工作可以自定義控制

?  探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性

HPG400

?  電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合

?  皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)

?  電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義

?  簡易的校準(zhǔn)功能

?  相對(duì)便宜的價(jià)格

 BCG450

?  可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn)

?  的重復(fù)性

?  的大氣端測量

四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）

1.  冷電離規(guī)原理

通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離

2.  潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用

測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

 全金屬密封

無燈絲

易清洗

應(yīng)用于普通的高真空測量

3.  冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用

冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合

測量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar

易于保養(yǎng)清洗

無高真空燈絲，

應(yīng)用于普通高真空測量

五、真空計(jì)控制器的型號(hào)分別為：VGC401、VGC402、VGC403。分別表示一路、二路、三路；看您一個(gè)真空計(jì)控制器配幾個(gè)真空計(jì)來選。INFICON的通信電纜有網(wǎng)線的和15針角的，選擇時(shí)一定要注意。